瞬時電圧低下(瞬低)や停電による、製造中のウエハの損失を防ぐために半導体工場で導入される設備はどれか。

正解：B. 無停電電源装置(UPS)や瞬低対策装置

半導体の製造装置は、わずかな時間の電圧低下でも停止し、処理中のウエハが不良になったり、装置の再立ち上げに時間がかかったりします。そのため、重要な装置や設備には無停電電源装置や瞬低対策装置を設けて、電力の供給を途切れさせないようにしています。