클린룸과 장비

진공을 사용하는 공정 장비에서 반응으로 생성된 유해 물질을 포함한 배기 가스를 장비별로 처리하는 장치는 무엇인가?

  1. A제해 장치(로컬 스크러버)
  2. BFFU
  3. CEFEM
정답과 해설 보기

정답: A. 제해 장치(로컬 스크러버)

성막이나 식각 장비에서 나오는 배기 가스에는 미반응 특수 재료 가스와 유해한 부산물이 포함되어 있습니다. 제해 장치는 장비 바로 근처에서 이를 연소, 열분해, 플라스마 분해, 흡착, 수세 등으로 무해화한 뒤 공장 전체의 배기계로 보냅니다. 발화성 가스나 배관 내에서 굳는 생성물을 일찍 처리함으로써 덕트 화재나 막힘도 막을 수 있습니다. FFU와 EFEM은 청정화와 반송 설비입니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

클린룸과 장비의 다른 문제

  1. 순간 전압 강하(순저)나 정전으로 인한 제조 중 웨이퍼의 손실을 막기 위해 반도체 공장에서 도입하는 설비는 무엇인가?
  2. 구 미국 연방 규격의 클래스 100(1세제곱피트당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하)에 해당하는 ISO 14644-1의 청정도 클래스는 무엇인가?
  3. 다운플로 방식 클린룸에서 일반적인 천장 취출 풍속의 기준은 무엇인가?
  4. 베이-체이스 방식 클린룸에서 장비 뒤쪽의 보수용 공간(체이스)의 청정도 취급으로 일반적인 것은 무엇인가?
  5. 유리섬유 필터 등에서 방출되어 웨이퍼의 의도치 않은 도핑(오염)의 원인이 되기도 하는 원소는 무엇인가?