クリーンルーム・製造装置

ベイ・チェイス方式のクリーンルームで、装置の裏側の保守用の空間(チェイス)の清浄度の扱いとして一般的なものはどれか。

  1. A工場内で最も高い清浄度で管理される
  2. B屋外と同じ環境にされる
  3. Cウエハを扱う作業エリア(ベイ)より低い清浄度で管理されることが多い
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正解：C. ウエハを扱う作業エリア(ベイ)より低い清浄度で管理されることが多い

ベイ・チェイス方式では、ウエハを扱う作業エリア(ベイ)を高い清浄度に保ち、装置の裏側の保守用の空間(チェイス)はそれより低い清浄度で管理することが多くあります。清浄度を区分けすることで、建設費や運転費を抑えています。

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