Welke methode beoordeelt de elektrische eigenschappen van oxidefilms en grensvlakken door zonder elektroden lading met een coronaontlading op het waferoppervlak aan te brengen en de verandering van de oppervlaktepotentiaal te meten?

Antwoord: C. Contactloze elektrische beoordeling met coronaoplading (zoals COCOS)

Wanneer met een coronaontlading een vaste hoeveelheid lading op het waferoppervlak wordt aangebracht en de oppervlaktepotentiaal contactloos met een Kelvin-probe wordt gemeten, kunnen oxidedikte, lading in de film, grensvlaktoestanden en lekeigenschappen worden beoordeeld zonder een MOS-structuur te maken. Omdat de stap van het maken van een gate-elektrode niet nodig is en de gemeten wafer gewoon naar de volgende processtap kan, wordt de methode gebruikt voor bewaking in productielijnen. Met de vierpuntsmethode of röntgendiffractie zijn deze elektrische eigenschappen niet te bepalen.