Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Welke methode meet contactloos de levensduur van ladingdragers in een wafer en beoordeelt zo onder meer metaalverontreiniging?

  1. AMicrogolf-fotogeleidingsverval (μ-PCD)
  2. BSIMS
  3. CXRD
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Microgolf-fotogeleidingsverval (μ-PCD)

Bij μ-PCD worden met een lichtpuls ladingdragers in de wafer opgewekt en wordt hun afname door recombinatie gemeten aan de hand van de verandering in microgolfreflectie. Metaalverontreiniging zoals ijzer fungeert als recombinatiecentrum en verkort de levensduur, zodat de methode wordt gebruikt voor het bewaken van verontreiniging in ovens en voor de kwaliteitsbeoordeling van wafers. Omdat zonder elektroden kan worden gemeten, kan ook een verdelingskaart van de hele wafer worden gemaakt. Met SIMS en XRD is levensduur niet te meten.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke functie fotografeert bij inspectie gevonden defecten met SEM en classificeert automatisch het defecttype uit het beeld?
  2. Wat is het gangbare verschil tussen 'metrologie' en 'inspectie' in een halfgeleiderproductielijn?
  3. Wat is het belangrijkste doel van meten en inspecteren halverwege het proces in een productielijn?
  4. Wat is de belangrijkste reden dat bij metrologie in de productielijn vaak een deel wordt gemeten in plaats van alle wafers en alle punten?
  5. Welke uitspraak over de methode waarbij de wafer wordt gebroken of afgeschraapt en daarna bekeken, om de vorm van de doorsnede nauwkeurig te onderzoeken, is juist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp