Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Wat kan hoofdzakelijk worden beoordeeld met röntgendiffractie (XRD)?

  1. AOrganische vervuiling van het oppervlak
  2. BLaagweerstand
  3. CKristalstructuur, roosterconstante en filmspanning (rek)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Kristalstructuur, roosterconstante en filmspanning (rek)

XRD onderzoekt kristalstructuur en roostervlakafstand met de Bragg-voorwaarde 2d·sinθ = nλ voor diffractie van röntgenstraling aan atoomvlakken van het kristal. Bij XRD met hoog oplossend vermogen kunnen uit de ligging van diffractiepieken van epitaxiale lagen zoals SiGe samenstelling en rek worden beoordeeld en uit de breedte van de pieken de kristalperfectie. Bij polykristallijne films is ook de mate van oriëntatie van de kristallen te zien. Organische vervuiling en laagweerstand zijn niet te meten.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Wat is het belangrijkste gebruik van een apparaat met gefocusseerde ionenbundel (FIB)?
  2. Welke analysemethode onderzoekt de elementen en chemische bindingstoestand aan het oppervlak uit de energie van fotoelektronen die bij röntgenbestraling vrijkomen?
  3. Welke analysemethode detecteert het zwakke licht dat een defecte plek tijdens bedrijf uitzendt om de foutplek van een LSI te lokaliseren?
  4. Hoe heet het verschijnsel waarbij bij het meten met een CD-SEM van ArF-resistpatronen het patroon door de elektronenbestraling krimpt?
  5. Wat wordt op de wafer aangebracht om de overlay-afwijking te meten?

Vergelijkingen bij dit onderwerp