Was ist XRD (Röntgenbeugung)?

Analyseverfahren, bei dem Röntgenstrahlen auf einen Kristall treffen und aus Winkeln und Intensitäten der gebeugten Strahlen Kristallstruktur, Gitterkonstante, Schichtverspannung und Kristallqualität bestimmt werden.

Japanische Bezeichnung: XRD(X線回折)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse)

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