Cleanroom en productieapparatuur
Wat is het belangrijkste doel van de methode (downflow) in een cleanroom waarbij lucht in één richting van plafond naar vloer stroomt?
- AGegenereerde deeltjes snel naar onder de vloer afvoeren, zodat ze niet rond de wafers blijven hangen
- BDe kamertemperatuur verhogen
- CHet geluid in de ruimte verminderen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Gegenereerde deeltjes snel naar onder de vloer afvoeren, zodat ze niet rond de wafers blijven hangen
Als schone lucht die door hoogwaardige filters in het plafond is geleid in één richting naar de vloer stroomt, worden deeltjes van mensen en apparatuur niet opgewerveld maar naar onder de vloer gevoerd. Zo blijven deeltjes niet rond de wafers hangen. Hiermee wordt een hogere reinheid bereikt dan met een methode die de lucht in de ruimte mengt en verdunt, maar omdat grote hoeveelheden lucht worden verplaatst, is het energieverbruik van de luchtbehandeling groot. Het doel is niet het regelen van temperatuur of geluid.