Cleanroom en productieapparatuur

Welke uitspraak over de rol van de dikke betonnen vloer met rasterpatroon van gaten (waffle slab) voor de vloer van een halfgeleider-cleanroom is juist?

  1. AHij onderdrukt trillingen met een hoge stijfheid en laat via de gaten lucht onder de vloer stromen
  2. BHij vangt regenwater op
  3. CHij maakt de vloer lichter en verlaagt de bouwkosten
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Hij onderdrukt trillingen met een hoge stijfheid en laat via de gaten lucht onder de vloer stromen

Een waffle slab is een dikke betonnen vloer, versterkt met roosterbalken, met veel gaten, die als doorgang voor de lucht van de downflow naar onder de vloer dient. Tegelijk onderdrukt hij met een hoge stijfheid trillingen die schadelijk zijn voor precisieapparatuur zoals belichtingsapparaten. De naam komt van het feit dat het patroon van gaten op een wafel lijkt. Boven de gaten worden roosterpanelen geplaatst om erover te kunnen lopen. Het is een zware en stijve constructie, het tegendeel van gewichtsbesparing.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke maat, in precisiefaciliteiten zoals halfgeleiderfabrieken, geeft het toelaatbare trillingsniveau van de vloer per frequentie in trappen weer als trillingssnelheid?
  2. Welke omgevingsfactor vereist naast trillingen bijzondere aandacht bij het opstellen van elektronenstraalschrijvers of elektronenmicroscopen?
  3. Waardoor wordt de reinheid van een cleanroom in het algemeen uitgedrukt?
  4. Wat is de belangrijkste reden dat in het lithografiegebied gele verlichting wordt gebruikt?
  5. Welke uitspraak over de FOUP is juist?