Cleanroom en productieapparatuur

Wat is de gebruikelijke richtwaarde voor de luchtsnelheid uit het plafond in een cleanroom met downflow?

  1. ACirca 30 m/s
  2. BCirca 0,3 tot 0,5 m/s
  3. CCirca 0,001 m/s
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Circa 0,3 tot 0,5 m/s

In een cleanroom met downflow stroomt vanuit het plafond een langzame luchtstroom van circa 0,3 tot 0,5 m/s in één richting. Bij een te hoge snelheid ontstaat turbulentie rond mensen en apparatuur, die deeltjes opwerveld, en bij een te lage snelheid worden deeltjes niet voldoende afgevoerd omdat opstijgende luchtstromen door warmte overheersen, zodat een geschikte snelheid wordt aangehouden. 30 m/s is orkaankracht en bij 0,001 m/s beweegt de lucht nauwelijks.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Hoe wordt in een cleanroom volgens de bay-chase-methode de reinheid van de onderhoudsruimte (chase) achter de apparatuur gewoonlijk behandeld?
  2. Welk element, afgegeven door onder meer glasvezelfilters, kan ongewenste doping (verontreiniging) van wafers veroorzaken?
  3. Welke waarde benadert de gebruikelijke ingestelde temperatuur van een cleanroom het best?
  4. Welk apparaat wordt gebruikt om het aantal en de grootte van fijne deeltjes in de lucht van een cleanroom te meten?
  5. Wat wordt bij de ingang van een cleanroom op de vloer gelegd om stof van schoenzolen te verwijderen?