Eigenschap dat het etsen alleen in een bepaalde richting (meestal verticaal) verloopt. Noodzakelijk voor het bewerken van fijne patronen.
Japanse benaming: 異方性エッチング
“Anisotroop etsen” komt voor in 4 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Etsen, MEMS en sensoren.
Vakgebied: Etsen
Antwoord: A. Het etsen verloopt vooral in verticale richting en nauwelijks in zijwaartse richting
Bij anisotroop etsen verloopt het etsen in verticale richting bij voorkeur, door de inslag van ionen die door een elektrisch veld loodrecht worden versneld en door een beschermende film op de zijwanden, en vindt nauwelijks zijwaarts etsen onder het masker plaats. Het maskerpatroon kan daardoor nauwkeurig worden overgebracht zonder dat de afmetingen veranderen, en fijne, verticale structuren met bijvoorbeeld een breedte van enkele tientallen nm en een diepte van enkele µm kunnen worden gemaakt. Etsen met dezelfde snelheid in alle richtingen is isotroop etsen.
Bij anisotroop etsen verloopt het etsen in verticale richting bij voorkeur, door de inslag van ionen die door een elektrisch veld loodrecht worden versneld en door een beschermende film op de zijwanden, en vindt nauwelijks zijwaarts etsen onder het masker plaats.
Welke uitspraak over anisotroop etsen is juist?De methode waarbij het substraat zelf vanaf de achterzijde diep wordt uitgeëtst om membranen en gaten te maken, is bulkmicrobewerking; hierbij worden anisotroop etsen met KOH en Deep RIE gebruikt, bijvoorbeeld voor de membranen van druksensoren.
Welke MEMS-bewerkingsmethode maakt bewegende structuren doo…De plasmadichtheid (hoeveelheid radicalen en ionen) en de energie van de ionen die op de wafer vallen zijn gemakkelijk onafhankelijk in te stellen, en bij lage druk van enkele Pa of minder is snel en sterk anisotroop etsen mogelijk, zodat het veel wordt gebruikt voor het etsen van silicium en metalen.
Welke uitspraak over de kenmerken van etsapparatuur van het…Door dit potentiaalverschil worden positieve ionen uit het plasma vrijwel loodrecht naar de wafer versneld, wat wordt gebruikt voor anisotroop etsen.
Hoe heet het verschijnsel dat in bijvoorbeeld capacitief ge…Plasma Isotroop etsen MEMS Boschproces (Deep RIE) ICP (inductief gekoppeld plasma) Via Self-bias ALE (atomic layer etching) Antenne-effect ARDE (aspect-ratio-afhankelijk etsen)