Welke uitspraak over anisotroop etsen is juist?

Antwoord: A. Het etsen verloopt vooral in verticale richting en nauwelijks in zijwaartse richting

Bij anisotroop etsen verloopt het etsen in verticale richting bij voorkeur, door de inslag van ionen die door een elektrisch veld loodrecht worden versneld en door een beschermende film op de zijwanden, en vindt nauwelijks zijwaarts etsen onder het masker plaats. Het maskerpatroon kan daardoor nauwkeurig worden overgebracht zonder dat de afmetingen veranderen, en fijne, verticale structuren met bijvoorbeeld een breedte van enkele tientallen nm en een diepte van enkele µm kunnen worden gemaakt. Etsen met dezelfde snelheid in alle richtingen is isotroop etsen.