Wat is Antenne-effect?

Verschijnsel waarbij tijdens plasmaprocessen een geleider, zoals een lange verbinding, als een antenne lading verzamelt en het verbonden gateoxide beschadigt. Wordt voorkomen door in de ontwerpregels de oppervlakteverhouding van verbindingen te beperken.

Japanse benaming: アンテナ効果

Vakgebied: Etsen

Verwante termen

ALE (atomic layer etching) Anisotroop etsen ARDE (aspect-ratio-afhankelijk etsen) Ashing Aspectverhouding Droog etsen Eindpuntdetectie Gebufferd fluorwaterstofzuur (BHF) Hardmask ICP (inductief gekoppeld plasma)

Naar de woordenlijst