Hoe heet het verschijnsel dat in bijvoorbeeld capacitief gekoppelde plasmaapparatuur de elektrode aan de waferzijde vanzelf een negatieve gelijkspanningspotentiaal krijgt en ionen naar de wafer versnelt?

Antwoord: C. Self-bias (zelfbias)

Bij een elektrode waarop hoogfrequent vermogen wordt gezet, stromen meer van de lichte, beweeglijke elektronen binnen dan ionen, zodat een elektrode die via een condensator is aangesloten gemiddeld een negatieve gelijkspanningspotentiaal krijgt (self-bias, enkele tientallen tot enkele honderden V). Door dit potentiaalverschil worden positieve ionen uit het plasma vrijwel loodrecht naar de wafer versneld, wat wordt gebruikt voor anisotroop etsen. Als het hoogfrequente vermogen wordt veranderd, verandert de self-bias en kan de ionenenergie worden bijgesteld.