Verschijnsel in capacitief gekoppelde plasmareactoren waarbij de elektrode aan de waferzijde vanzelf een negatieve gelijkspanning krijgt. Positieve ionen worden naar de wafer versneld, wat helpt bij anisotroop etsen.
Japanse benaming: セルフバイアス
“Self-bias” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Etsen.
Vakgebied: Etsen
Antwoord: C. Self-bias (zelfbias)
Bij een elektrode waarop hoogfrequent vermogen wordt gezet, stromen meer van de lichte, beweeglijke elektronen binnen dan ionen, zodat een elektrode die via een condensator is aangesloten gemiddeld een negatieve gelijkspanningspotentiaal krijgt (self-bias, enkele tientallen tot enkele honderden V). Door dit potentiaalverschil worden positieve ionen uit het plasma vrijwel loodrecht naar de wafer versneld, wat wordt gebruikt voor anisotroop etsen. Als het hoogfrequente vermogen wordt veranderd, verandert de self-bias en kan de ionenenergie worden bijgesteld.
Bij een elektrode waarop hoogfrequent vermogen wordt gezet, stromen meer van de lichte, beweeglijke elektronen binnen dan ionen, zodat een elektrode die via een condensator is aangesloten gemiddeld een negatieve gelijkspanningspotentiaal krijgt (self-bias, enkele tientallen tot enkele honderden V).
Hoe heet het verschijnsel dat in bijvoorbeeld capacitief ge…Via Plasma Anisotroop etsen ALE (atomic layer etching) Antenne-effect ARDE (aspect-ratio-afhankelijk etsen) Ashing Aspectverhouding Droog etsen Eindpuntdetectie