Wat gebeurt er met de dikte van de oxidefilm die in dezelfde tijd wordt verkregen als de temperatuur van de thermische oxidatie wordt verhoogd?

Antwoord: A. Wordt dikker

Bij thermische oxidatie nemen zowel de reactiesnelheid aan het grensvlak als de diffusie van het oxidatiemiddel in de oxidefilm exponentieel toe met de temperatuur. De bij natte oxidatie in 1 uur verkregen dikte verschilt bijvoorbeeld sterk: ongeveer 200 nm bij 900 °C en ongeveer 700 nm bij 1100 °C. Voor dikke films in korte tijd wordt natte oxidatie bij hoge temperatuur gebruikt, terwijl dunne gate-oxiden voor nauwkeurige dikteregeling bij lage temperatuur of met droge oxidatie over langere tijd worden gemaakt.