Oxidation und Diffusion
Was geschieht mit der in gleicher Zeit erzielten Oxiddicke, wenn die Temperatur der thermischen Oxidation erhöht wird?
- ASie wird dicker
- BSie wird dünner
- CSie ändert sich nicht
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Antwort: A. Sie wird dicker
Die Geschwindigkeit der thermischen Oxidation nimmt sowohl bei der Reaktionsgeschwindigkeit an der Grenzfläche als auch bei der Diffusion des Oxidationsmittels im Oxid mit steigender Temperatur exponentiell zu. Die bei Nassoxidation in 1 Stunde erzielte Dicke unterscheidet sich z. B. stark: etwa 200 nm bei 900 °C und etwa 700 nm bei 1100 °C. Dicke Filme werden in kurzer Zeit durch Nassoxidation bei hoher Temperatur erzeugt, während dünne Gateoxide zur genauen Steuerung der Dicke bei niedriger Temperatur und durch Trockenoxidation über längere Zeit hergestellt werden.