Hoe heet bij LOCOS (selectieve oxidatie) het verschijnsel waarbij de oxidefilm onder de rand van het nitridemasker als een vogelsnavel indringt?

Antwoord: C. Bird's beak

Bij LOCOS worden de delen die met een nitridefilm zijn bedekt niet geoxideerd, maar het oxidatiemiddel diffundeert zijdelings door de pad-oxide onder de nitridefilm en de oxidatie schrijdt voort, waardoor de oxidefilm als een vogelsnavel indringt (bird's beak). De indringing kan aan één zijde ongeveer de helft van de oxidedikte bedragen en vermindert het werkzame oppervlak van het element, dus werd LOCOS vanaf ongeveer de 0,25 µm-generatie door STI met gleuven vervangen. De pad-oxide is nodig om het silicium te beschermen tegen de spanning van de nitridefilm.