열산화의 온도를 올리면, 같은 시간에 얻어지는 산화막의 두께는 어떻게 됩니까?

정답: A. 두꺼워진다

열산화의 속도는 계면에서의 반응 속도도, 산화제의 산화막 내 확산도 온도가 높을수록 지수 함수적으로 빨라집니다. 예를 들어 습식 산화로 1시간에 얻어지는 두께는 900 ℃에서 약 200 nm, 1100 ℃에서 약 700 nm로 크게 다릅니다. 두꺼운 막을 짧은 시간에 만들 때는 고온의 습식 산화가 사용되는 한편, 얇은 게이트 산화막은 막 두께를 정밀하게 제어하기 위해 저온이나 건식 산화로 시간을 들여 만듭니다.