Hoe heet de warmtebehandeling waarbij wafers één voor één met bijvoorbeeld lampen in enkele seconden kort op hoge temperatuur worden gebracht?

Antwoord: B. RTP (rapid thermal processing)

RTP is een warmtebehandeling waarbij wafers met bijvoorbeeld halogeenlampen met een snelheid van enkele tientallen tot honderden °C per seconde worden verhit en gekoeld, en slechts enkele seconden aan temperaturen boven 1000 °C worden blootgesteld. Omdat de tijd bij hoge temperatuur kort is, kunnen na implantatie activeringsanneal en vorming van dunne oxidefilms worden uitgevoerd terwijl onzuiverheidsdiffusie wordt onderdrukt. Flash-lampanneal en laseranneal, waarbij de verhittingstijd verder is bekort tot milliseconden of minder, worden eveneens gebruikt voor het vormen van ondiepe overgangen in geavanceerde processen.