램프 등으로 웨이퍼를 한 장씩, 수 초 정도의 짧은 시간에 고온으로 가열하는 열처리를 무엇이라고 합니까?

정답: B. RTP(급속 열처리)

RTP는 할로겐 램프 등으로 웨이퍼를 초당 수십~수백 ℃의 속도로 가열·냉각하는 열처리로, 1000 ℃ 이상의 온도에 수 초만 노출시킬 수 있습니다. 고온에서의 시간이 짧기 때문에 불순물의 확산을 억제하면서 주입 후의 활성화 어닐링이나 얇은 산화막 형성을 할 수 있습니다. 가열 시간을 밀리초 이하로 더 줄인 플래시 램프 어닐링이나 레이저 어닐링도 선단의 얕은 접합 형성에 사용되고 있습니다.