酸化・拡散 ランプなどでウエハを1枚ずつ、数秒程度の短時間で高温に加熱する熱処理を何と呼ぶか。 Aバッチ炉アニール BRTP(急速熱処理) CCMP 答えと解説を見る 正解：B. RTP(急速熱処理) RTP(Rapid Thermal Processing)は、ハロゲンランプなどでウエハを急速に加熱・冷却する熱処理です。高温にさらす時間が短いため、不純物の拡散を抑えながら活性化アニールや薄い酸化膜の形成などができます。