Oxidation und Diffusion

Wie heißt die Wärmebehandlung, bei der Wafer einzeln mit Lampen o. Ä. in kurzer Zeit von einigen Sekunden auf hohe Temperatur erhitzt werden?

  1. ABatch-Ofen-Tempern
  2. BRTP (Rapid Thermal Processing, schnelle thermische Behandlung)
  3. CCMP
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Antwort: B. RTP (Rapid Thermal Processing, schnelle thermische Behandlung)

RTP ist eine Wärmebehandlung, bei der Wafer mit Halogenlampen o. Ä. mit einigen zehn bis einigen hundert °C pro Sekunde erhitzt und abgekühlt werden und nur wenige Sekunden Temperaturen über 1000 °C ausgesetzt sind. Da die Zeit bei hoher Temperatur kurz ist, lassen sich nach der Implantation das Aktivierungstempern und die Bildung dünner Oxide bei gleichzeitig unterdrückter Diffusion von Störstellen ausführen. Auch Blitzlampentempern und Lasertempern, bei denen die Heizzeit auf Millisekunden oder weniger verkürzt ist, werden zur Bildung flacher Übergänge in fortgeschrittenen Prozessen eingesetzt.

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