Oxidatie en diffusie
Welk probleem treedt op als de gate-oxidefilm mobiele ionen zoals natriumionen bevat?
- ADe oxidefilm straalt licht uit
- BDoor elektrisch veld en temperatuur verplaatsen de ionen zich en varieert de drempelspanning
- CDe mechanische sterkte van de oxidefilm neemt toe
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Door elektrisch veld en temperatuur verplaatsen de ionen zich en varieert de drempelspanning
Alkalimetaalionen zoals natrium bewegen gemakkelijk door de oxidefilm, en wanneer ze onder invloed van elektrisch veld en temperatuur (bijvoorbeeld ongeveer 200 °C) naar het grensvlak verplaatsen, laten ze als positieve lading de drempelspanning variëren. Dit was de grootste oorzaak van de instabiliteit van MOS-componenten in de jaren zestig, en natrium komt ook via menselijk zweet en gereedschap binnen. Er werden tegenmaatregelen genomen zoals verontreinigingsbeheersing in de cleanroom, chlooroxidatie en vangen met fosfosilicaatglas (PSG), waarmee de MOS-technologie praktisch toepasbaar werd.