Welke vorm van CMP laat de schuurdeeltjes niet in de slurry maar maakt ze vast in de polijstpad?

Antwoord: B. CMP met vaste schuurkorrels (fixed abrasive)

Bij CMP met vaste schuurkorrels wordt een pad gebruikt waarin schuurdeeltjes zoals ceria in hars zijn vastgezet, en wordt gepolijst met alleen een chemische oplossing zonder deeltjes. Alleen verhogingen komen in contact met de schuurkorrels en worden weggenomen, terwijl verzonken delen nauwelijks worden aangetast, zodat het planarisatievermogen hoog is en ook een zelfstoppende eigenschap ontstaat, waarbij het polijsten vanzelf langzamer gaat als het oppervlak vlak is. Het verbruik van slurry en afvalvloeistof kan ook worden verminderd en de methode is gebruikt voor onder meer STI-planarisatie, maar het beheer van defecten in de pad is een uitdaging.