Quel type de CMP fixe les particules abrasives dans le tampon de polissage au lieu de les introduire dans la suspension ?

Réponse : B. CMP à abrasif fixe

Le CMP à abrasif fixe utilise un tampon dans lequel des particules abrasives comme l'oxyde de cérium sont fixées dans une résine, et n'apporte qu'une solution chimique sans particules. Seuls les reliefs touchent l'abrasif et sont enlevés, les creux l'étant à peine ; la capacité d'aplanissement est élevée, et le polissage ralentit naturellement une fois la surface plane (auto-arrêt). Réduisant aussi la consommation de suspension et les effluents, il a servi notamment à l'aplanissement des STI, mais la maîtrise des défauts du tampon reste un défi.