Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke reden om de luchtvochtigheid van een cleanroom niet extreem laag te laten worden is juist?

  1. AOmdat er gemakkelijk schimmel ontstaat
  2. BOmdat bij een te lage vochtigheid gemakkelijk statische elektriciteit ontstaat
  3. COmdat de verlichting donkerder wordt
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Omdat bij een te lage vochtigheid gemakkelijk statische elektriciteit ontstaat

Als de lucht te droog is, ontstaat gemakkelijk statische elektriciteit, wat leidt tot het aanhechten van deeltjes op wafers en tot schade aan devices door elektrostatische ontlading. Is de vochtigheid daarentegen te hoog, dan veranderen de gevoeligheid en hechting van de resist en verloopt corrosie van metalen sneller. De luchtvochtigheid in een cleanroom wordt daarom vaak binnen een vast bereik rond 40 tot 45% RH gehouden. Schimmel en helderheid van de verlichting zijn geen reden.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke zaken mogen alleen onder strenge beperkingen in de cleanroom worden meegenomen?
  2. Welke uitspraak over de gangbare indeling van apparatuur in een halfgeleiderfabriek is juist?
  3. Wat is het belangrijkste doel van het spoelen (purgen) van het binnenste van een FOUP met stikstof?
  4. Welke minienvironment-methode, gangbaar in het tijdperk van 200 mm-wafers, plaatst de cassette in een afgesloten pod die aan de apparatuur wordt overgedragen?
  5. Welke reden om in een cleanroom met downflow vloerpanelen met gaten (grating) te gebruiken is juist?