Welche Einheit an der Frontseite einer Fertigungsanlage öffnet den FOUP-Deckel und befördert die Wafer in sauberer Umgebung in die Anlage?

Antwort: C. EFEM (Frontmodul der Anlage mit Load Port und Transportroboter)

Das EFEM (Equipment Front End Module) ist ein Modul, das den Load Port zum Aufsetzen des FOUPs, den Öffnungsmechanismus für den Deckel und den Roboter zum Entnehmen und Einbringen der Wafer in einem per FFU sauber gehaltenen Raum vereint. Wafer lassen sich zwischen Anlage und FOUP übergeben, ohne der Außenluft ausgesetzt zu werden; das EFEM ist ein Kernstück des Minienvironments. Das OHT übernimmt den Transport zwischen den Anlagen, der ULPA-Filter die Luftreinigung.