스핀 코트로 레지스트를 도포한 뒤, 웨이퍼 외주부에 솟아오른 레지스트를 용제로 제거하는 처리를 무엇이라고 하는가?

정답: B. 엣지 비드 리무벌

스핀 코트에서는 웨이퍼 외주에 표면 장력으로 레지스트가 두껍게 솟아오릅니다(엣지 비드). 이것이 남아 있으면 반송 중에 벗겨져 파티클이 되거나, 장비의 척이나 노광 장비의 스테이지를 오염시키거나, 외주부의 초점을 어긋나게 하므로, 외주 수 mm에 용제를 뿌려 제거합니다(EBR). 또한 뒷면으로 돌아 들어간 레지스트를 씻어 내는 뒷면 린스도 이루어집니다.

• A. 애싱은 레지스트 전체를 플라스마 등으로 제거하는 처리입니다.
• B. 올바릅니다. 외주에 솟아오른 레지스트를 제거하는 처리입니다.
• C. 노광 후 베이크는 노광 뒤에 하는 가열 처리입니다.