裏面電源供給란?

りめんでんげんきょうきゅう

電源配線をウエハの裏面側に配置し、表面の配線を信号用に使えるようにする技術。電圧降下や配線の混雑を減らせる。バックサイドパワーデリバリーとも呼ぶ。

일본어 명칭: 裏面電源供給

분야: 배선 공정