Was ist XPS (Röntgenphotoelektronenspektroskopie)?

Analyseverfahren, das aus den Energien der bei Röntgenbestrahlung emittierten Photoelektronen die Elemente in den obersten Nanometern einer Oberfläche und ihre chemischen Bindungszustände bestimmt.

Japanische Bezeichnung: XPS(X線光電子分光法)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse)

Zurück zum Glossar