Dans une salle blanche, quel équipement fournit des ions à l'air pour neutraliser la charge électrostatique des plaquettes et des équipements ?

Réponse : B. Ioniseur (éliminateur d'électricité statique)

Dans une salle blanche sèche, l'électricité statique apparaît facilement ; les plaquettes et masques chargés attirent les particules ou subissent des décharges électrostatiques qui endommagent les composants ou les motifs des masques. L'ioniseur produit des ions positifs et négatifs, par exemple par décharge corona, et les diffuse dans l'air pour neutraliser la charge des objets. Il est particulièrement efficace pour les isolants, qui ne peuvent être mis à la terre. Le filtre ULPA élimine les particules, le laveur de gaz traite les gaz d'échappement.