Pour les équipements de procédé sous vide, quel dispositif traite, équipement par équipement, les gaz d'échappement contenant des substances dangereuses produites par les réactions ?

Réponse : A. Dispositif d'abattement (laveur local)

Les gaz d'échappement des équipements de dépôt et de gravure contiennent des gaz spéciaux n'ayant pas réagi et des sous-produits dangereux. Le dispositif d'abattement les rend inoffensifs au plus près de l'équipement, par combustion, décomposition thermique, décomposition plasma, adsorption, lavage à l'eau, etc., avant de les envoyer vers le réseau d'extraction de l'usine. Traiter tôt les gaz inflammables et les produits qui se solidifient dans les conduites prévient aussi les incendies et les obstructions de gaines. La FFU et l'EFEM sont des équipements de purification et de transport.