Comment appelle-t-on, dans les équipements à plasma notamment à couplage capacitif, le phénomène par lequel l'électrode côté plaquette prend spontanément un potentiel continu négatif qui accélère les ions vers la plaquette ?

Réponse : C. Autopolarisation (self-bias)

Sur une électrode soumise à une puissance haute fréquence, les électrons, légers et mobiles, affluent davantage que les ions ; l'électrode reliée par un condensateur prend donc en moyenne un potentiel continu négatif (autopolarisation, de quelques dizaines à quelques centaines de V). Cette différence de potentiel accélère les ions positifs du plasma vers la plaquette de façon quasi perpendiculaire, ce qui est exploité pour la gravure anisotrope. Modifier la puissance haute fréquence change l'autopolarisation et permet de régler l'énergie des ions.