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Plaquettes de silicium

Quel effet connu a l'ajout d'une faible quantité d'azote (dopage à l'azote) pendant la croissance d'un cristal CZ ?

  1. AIl favorise la précipitation de l'oxygène et réduit la taille des agrégats de lacunes (cavités) incorporés dans le cristal
  2. BLe diamètre du cristal augmente automatiquement
  3. CLe cristal devient fortement dopé n
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Réponse : A. Il favorise la précipitation de l'oxygène et réduit la taille des agrégats de lacunes (cavités) incorporés dans le cristal

L'ajout d'une faible quantité d'azote, de l'ordre de 10¹³ à 10¹⁵ cm⁻³, facilite la nucléation des précipités d'oxygène et renforce la capacité de gettering ; il réduit aussi la taille des cavités (COP) formées par agglomération de lacunes, qui sont alors plus faciles à éliminer par traitement thermique ultérieur. Il ancre également les dislocations et renforce le wafer. La quantité ajoutée est infime, et son effet donneur ne pose pratiquement pas de problème. Il est utilisé notamment pour les wafers recuits.

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