CZ結晶の育成中に窒素を微量に添加する(窒素ドープ)ことの効果として知られているものはどれか。

正解：A. 酸素の析出を促進し、結晶に取り込まれる空孔の集合体(ボイド)を小さくする

微量の窒素を添加すると、酸素析出の核ができやすくなってゲッタリング能力が高まり、また空孔が集まってできるボイド欠陥が小さくなって、その後の熱処理で消しやすくなります。添加量はごく微量で、ドナーとしての影響はほとんど問題になりません。

• A. 正しい。酸素析出を促進し、ボイドを小さくします。
• B. 直径は引き上げ条件で決まります。
• C. 添加量が微量なため、導電型や抵抗率への影響はほとんどありません。