실리콘 웨이퍼
CZ 결정 성장 중에 질소를 미량 첨가하는(질소 도핑) 것의 효과로 알려진 것은?
- A산소 석출을 촉진하고, 결정에 유입되는 공공 집합체(보이드)를 작게 한다
- B결정의 직경이 자동으로 커진다
- C결정이 n형 고농도가 된다
정답과 해설 보기
정답: A. 산소 석출을 촉진하고, 결정에 유입되는 공공 집합체(보이드)를 작게 한다
10¹³~10¹⁵ cm⁻³ 정도의 미량 질소를 첨가하면 산소 석출의 핵이 생기기 쉬워져 게터링 능력이 높아지고, 또 공공이 모여 생기는 보이드 결함(COP)이 작아져 이후의 열처리로 없애기 쉬워집니다. 전위를 고착시켜 웨이퍼를 강하게 하는 효과도 있습니다. 첨가량이 극히 미량이어서 도너로서의 영향은 거의 문제되지 않습니다. 어닐 웨이퍼 등에서 사용됩니다.
- A. 옳습니다. 산소 석출을 촉진하고 보이드를 작게 합니다.
- B. 직경은 인상 조건으로 정해집니다.
- C. 첨가량이 미량이므로 도전형이나 저항률에 대한 영향은 거의 없습니다.