Welche Wirkung ist von einer geringen Stickstoffzugabe (Stickstoffdotierung) beim Züchten von CZ-Kristallen bekannt?

Antwort: A. Sie fördert die Sauerstoffausscheidung und verkleinert Voids (Aggregate von Leerstellen), die in den Kristall eingebaut werden

Wird eine geringe Menge Stickstoff von etwa 10¹³ bis 10¹⁵ cm⁻³ zugesetzt, bilden sich leichter Keime für die Sauerstoffausscheidung und die Getterfähigkeit steigt, und die durch zusammengelagerte Leerstellen entstehenden Void-Defekte (COP) werden klein und lassen sich durch spätere Wärmebehandlung leichter beseitigen. Außerdem hat er die Wirkung, Versetzungen zu fixieren und den Wafer zu stärken. Die Zugabemenge ist sehr gering, und sein Einfluss als Donator spielt kaum eine Rolle. Er wird z. B. bei Anneal-Wafern verwendet.