Quelle méthode grave sélectivement et superficiellement les zones de défauts pour permettre l'observation au microscope optique des dislocations, défauts d'empilement, etc. du silicium cristallin ?

Réponse : B. Gravure sélective (gravure Secco, etc.)

La gravure sélective utilise des solutions qui gravent plus vite les zones contraintes autour des défauts que leur environnement (solution Secco ou solution Wright à base d'acide chromique, solutions sans chrome, etc.) et révèle les défauts sous forme de piqûres (creux). La forme des piqûres indique le type de défaut et leur nombre la densité. C'est une technique de base du contrôle qualité des cristaux, mais elle est destructive, et le remplacement par des solutions moins nocives pour l'environnement progresse.