En lithographie ArF à immersion, quel film appliqué sur la résine empêche le contact direct entre l'eau d'immersion et la résine ?

Réponse : C. La couche de protection supérieure (top coat)

En lithographie à immersion, l'eau entre la lentille et la plaquette touche la résine : les générateurs photo-acides, etc. risquent de se dissoudre dans l'eau et de contaminer la lentille, ou l'eau de pénétrer et de créer des défauts de motifs. Le top coat est un film protecteur appliqué sur la résine qui empêche ces effets et rend la surface hydrophobe pour qu'il ne reste pas d'eau lors des déplacements rapides de la platine. Le BARC est une couche antireflet placée sous la résine, la pellicule une membrane mince protégeant le masque.