Welcher Film wird bei der ArF-Immersionsbelichtung auf den Fotolack aufgetragen, damit das Immersionswasser den Lack nicht direkt berührt?

Antwort: C. Topcoat

Bei der Immersionsbelichtung berührt das Wasser zwischen Linse und Wafer den Lack, sodass sich Photosäurebildner u. Ä. im Wasser lösen und die Linse verschmutzen oder eindringendes Wasser Musterdefekte verursachen kann. Der Topcoat ist ein auf den Lack aufgetragener Schutzfilm, der das verhindert und die Oberfläche wasserabweisend macht, damit bei schnellen Bewegungen des Tisches kein Wasser zurückbleibt. BARC ist eine unter dem Lack liegende Antireflexschicht, das Pellikel eine dünne Membran zum Schutz der Maske.