Quel matériau de haute pureté et d'excellente résistance thermique est largement utilisé pour les tubes de réaction des fours de traitement thermique et les supports de plaquettes ?

Réponse : B. Le verre de quartz

Le verre de quartz est de haute pureté, a un point de ramollissement élevé d'environ 1600 ℃ et un coefficient de dilatation thermique très faible d'environ 0,5×10⁻⁶ /K, ce qui le rend résistant aux chocs thermiques ; il résiste aussi à de nombreux produits chimiques. Il sert donc aux tubes de réaction des fours, aux nacelles de plaquettes, aux creusets du procédé CZ, etc. Pour les pièces exigeant résistance à plus haute température ou longue durée de vie, on utilise aussi le SiC. Le polyéthylène ne résiste pas à la chaleur et le cuivre est source de contamination métallique.