Quelle caractéristique du trifluorure de chlore (ClF3), utilisé notamment pour le nettoyage des chambres d'équipement, est correcte ?

Réponse : B. Il est extrêmement réactif et réagit violemment avec de nombreuses substances, ce qui exige une manipulation rigoureuse

Le ClF3, extrêmement réactif, peut graver de nombreuses substances sans plasma ; il sert au nettoyage in situ des dépôts dans les chambres des équipements d'épitaxie, etc. En revanche, il réagit violemment avec les matières organiques et de nombreux métaux, au point de s'enflammer, et il est très toxique : le choix des matériaux et les mesures contre les fuites sont rigoureux. Il n'est ni inerte ni inoffensif ; sa forte réactivité explique à la fois son usage et son danger.