Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)
Pourquoi utilise-t-on un alcali organique comme le TMAH plutôt que l'hydroxyde de sodium, etc., dans les développeurs pour semi-conducteurs ?
- AParce que le TMAH est plus fortement coloré
- BParce que le TMAH est toujours moins cher
- CPour éviter la contamination par des ions métalliques comme le sodium
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Réponse : C. Pour éviter la contamination par des ions métalliques comme le sodium
Les ions de métaux alcalins comme le sodium ou le potassium deviennent des ions mobiles qui se déplacent sous champ électrique dans l'oxyde et font dériver la tension de seuil des transistors. Cette contamination au sodium fut la principale cause de l'instabilité des premiers composants MOS. Le TMAH, alcali organique sans métal, écarte ce risque. Ni la couleur ni le prix ne motivent ce choix, et le TMAH n'est pas toujours moins cher.
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