Oxydation et diffusion
Selon le modèle de Deal-Grove, où se déroule l’oxydation thermique ?
- AÀ la surface extrême de l’oxyde, où les atomes de silicium réagissent avec l’oxydant
- BLes atomes de silicium diffusent jusqu’à la surface de l’oxyde pour y réagir
- CL’oxydant diffuse à travers l’oxyde et réagit avec le silicium à l’interface Si/SiO2
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Réponse : C. L’oxydant diffuse à travers l’oxyde et réagit avec le silicium à l’interface Si/SiO2
Le modèle de Deal-Grove (1965) considère que l’oxydant passe de la phase gazeuse à la surface de l’oxyde, diffuse dans le film et réagit à l’interface avec le silicium pour former un nouvel oxyde. L’oxyde croît donc côté interface, et l’interface est toujours une surface nouvelle. Plus l’oxyde s’épaissit, plus la distance de diffusion s’allonge et plus la croissance ralentit. En égalant les flux de ces trois étapes, on exprime les lois linéaire et parabolique en une seule équation.