열확산에서 표면에 일정량의 불순물을 도입하는 공정 뒤에, 불순물을 더 깊이 밀어 넣는 공정을 무엇이라고 합니까?

정답: C. 드라이브인(밀어 넣기 확산)

열확산은 2단계로 이루어지는 경우가 많습니다. 먼저 프리디포지션에서 표면 농도를 일정하게 유지하면서 정해진 양의 불순물을 얕게 도입하고, 다음 드라이브인에서 공급을 멈추고 가열하여 그 양을 유지한 채 내부로 퍼뜨려 정해진 깊이와 분포를 만듭니다. 현재는 양을 정밀하게 정할 수 있는 이온 주입으로 도입한 뒤 이후의 열처리로 활성화와 분포 조정을 하는 것이 일반적이지만, 태양전지나 전력 소자의 깊은 확산 등에서는 지금도 사용됩니다.