Wie heißt bei der thermischen Diffusion der Schritt, der nach dem Einbringen einer festen Menge Störstellen an der Oberfläche die Störstellen tiefer eintreibt?

Antwort: C. Drive-in (Eintreibdiffusion)

Die thermische Diffusion erfolgt häufig in zwei Stufen: Zunächst wird bei der Predeposition bei konstant gehaltener Oberflächenkonzentration eine bestimmte Menge Störstellen flach eingebracht, dann wird beim Drive-in die Zufuhr gestoppt und erhitzt, sodass sich diese Menge ins Innere ausbreitet und die gewünschte Tiefe und Verteilung entsteht. Heute wird üblicherweise per Ionenimplantation, die die Menge präzise festlegen lässt, eingebracht und die Aktivierung und Verteilung durch anschließende Wärmebehandlung eingestellt; bei Solarzellen und tiefen Diffusionen für Leistungsbauelemente wird das Verfahren aber nach wie vor verwendet.