Français
Menu

Oxydation et diffusion

Quel est le but principal de l’ajout d’une petite quantité de gaz chloré, comme le chlorure d’hydrogène (HCl), lors de l’oxydation thermique ?

  1. ARendre l’oxyde conducteur
  2. BAnnuler la vitesse d’oxydation
  3. CLimiter l’influence des ions mobiles comme le sodium et de la contamination métallique
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : C. Limiter l’influence des ions mobiles comme le sodium et de la contamination métallique

Lors d’une oxydation sous atmosphère contenant quelques % de chlorure d’hydrogène (HCl), etc., les contaminants métalliques comme le sodium ou le fer sont éliminés sous forme de chlorures volatils, ou piégés et inactivés par le chlore de l’oxyde. Les variations de seuil dues aux ions mobiles diminuent et la fiabilité, notamment la tenue au claquage de l’oxyde, s’améliore. Le procédé réduit aussi les défauts d’empilement induits par oxydation. Le HCl étant corrosif, d’autres sources de chlore sont utilisées depuis quelques années.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Oxydation et diffusion

  1. Lors de l’oxydation thermique d’un silicium contenant du bore, quelle tendance suit la concentration de bore côté silicium près de l’interface ?
  2. Comment s’appelle le traitement thermique qui chauffe les plaquettes une par une à haute température, par exemple avec des lampes, pendant quelques secondes seulement ?
  3. Quelle valeur est la plus proche de la permittivité relative d’un film de SiO2 formé par oxydation thermique ?
  4. Quelle est l’une des grandes raisons pour lesquelles le silicium a été largement utilisé comme matériau des dispositifs MOS ?
  5. Quel problème survient lorsque l’oxyde de grille contient des ions mobiles comme les ions sodium ?