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Métrologie et analyse

Quel équipement est largement utilisé pour détecter de façon non destructive le délaminage aux interfaces entre la résine d’encapsulation et la puce à l’intérieur d’un boîtier ?

  1. AMicroscope acoustique (SAT)
  2. BÉquipement d’écriture par faisceau d’électrons
  3. CImplanteur ionique
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Réponse : A. Microscope acoustique (SAT)

Le microscope acoustique (SAT) envoie dans l’eau des ultrasons de quelques dizaines à quelques centaines de MHz sur le boîtier et forme une image avec les ondes réfléchies par les interfaces internes. L’impédance acoustique du solide et de l’air étant très différente, les ondes sont presque totalement réfléchies par la lame d’air d’une zone délaminée ; on détecte ainsi de façon non destructive les délaminages entre résine et puce ou grille de connexion, les fissures et les vides. C’est l’outil classique d’évaluation après essai de refusion après absorption d’humidité.

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