Comment s’appelle la méthode qui prédit par un modèle statistique, à partir notamment des données des capteurs des équipements, l’épaisseur ou les dimensions de plaquettes non mesurées ?

Réponse : C. Métrologie virtuelle

La métrologie virtuelle modélise, notamment par apprentissage automatique, la relation entre les données des capteurs de l’équipement pendant le traitement (température, pression, puissance, etc.) et les résultats de mesure passés, afin de prédire les résultats des plaquettes non mesurées. Elle permet d’estimer l’état du procédé sans tout mesurer et contribue à la détection précoce des anomalies et à la commande corrigeant les conditions plaquette par plaquette. Cependant, le modèle dérive lorsque l’état de l’équipement change ; on le vérifie donc périodiquement par des mesures réelles.